特許
J-GLOBAL ID:200903033754602210
半導体レーザ加熱装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-064888
公開番号(公開出願番号):特開2001-252776
出願日: 2000年03月09日
公開日(公表日): 2001年09月18日
要約:
【要約】【課題】 レーザ光を直接ワークに照射する方式で半導体レーザ部の破損を防止し、再現性のある安定した良好な接合、溶接の半導体レーザ加熱装置を実現する【解決手段】 電源部1、半導体レーザ部2、レンズ部3で構成されており、照射レーザ光4はワーク5に対し法線から角度θ°に傾け取り付けてある。半導体レーザ部2から照射レーザ光4はワーク5に対し角度θ斜めに照射するため、反射光は半導体レーザ部2に戻ることは無い。したがって、反射光による半導体レーザ部の破損を防止することができる。
請求項(抜粋):
電源部と、前記電源部からエネルギを供給されてレーザ光を出力する半導体レーザ部と、前記レーザ光を被加工物へ集光するレンズ部とを備え、前記レーザ光を被加工物に対して斜めに照射する半導体レーザ加熱装置。
IPC (3件):
B23K 26/00
, H01L 21/268
, H01S 5/062
FI (5件):
B23K 26/00 Q
, B23K 26/00 N
, H01L 21/268 J
, H01L 21/268 T
, H01S 5/062
Fターム (11件):
4E068CA02
, 4E068CA17
, 4E068CA18
, 4E068CB09
, 4E068CC01
, 5F073AB27
, 5F073BA09
, 5F073FA05
, 5F073FA11
, 5F073GA03
, 5F073GA12
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