特許

J-GLOBAL ID：200903033759962398

真空ポンプの連結装置

発明者： 渡辺 泰弘 ,  小神野 宏明 ,  村上 生吾 ,  臼井 克明
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254686
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113180
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】 ブースタポンプの出口フランジとメインポンプの入口フランジとを一体化した連結部材を設けることにより、接続配管を削除するとともに架台を削除し、ポンプユニット全体をコンパクトにすることができる真空ポンプの連結装置を提供する。【構成】 大気圧より起動可能なメインポンプ22と、このメインポンプを必要とするブースタポンプ23とを直列に連結するための真空ポンプの連結装置において、ブースタポンプ23の出口フランジとメインポンプ22の入口フランジとを一体化した連結部材24を設け、連結部材24はブースタポンプ23を支持する架台をも構成する。

請求項（抜粋）：

大気圧より起動可能なメインポンプと、このメインポンプを必要とするブースタポンプとを直列に連結するための真空ポンプの連結装置において、前記ブースタポンプの出口フランジと前記メインポンプの入口フランジとを一体化した連結部材を設け、該連結部材は前記ブースタポンプを支持する架台をも構成することを特徴とする真空ポンプの連結装置。