特許

J-GLOBAL ID：200903033760277690

感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  水谷 一良
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-012671
公開番号（公開出願番号）：特開平6-059458
出願日： 1991年01月11日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 (a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII)または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)感光性アジト化合物、とを含有する感光性組成物。例【効果】 水性アルカリ現像が可能で、酸素プラズマ耐性に優れている。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII) または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)感光性アジド化合物、とを含有する感光性組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (7件)：

G03F 7/075 511 ,  C08L 83/04 LRT ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-121374