特許
J-GLOBAL ID：200903033764199023
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132755
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005313
出願日： 1994年06月15日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 損傷や汚染等による探針の劣化度を客観的に判断できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】 制御手段9は、観察サンプル1bの表面分析に先立って、XY粗動ドライバ4aを介してXY粗動ステージ4を駆動し、数種類の断面形状を有する標準試料を探針5bの直下に移動させる。次に、XY走査ドライバ3a及びZ軸走査ドライバ2aを介して、XY微動機構3及びZ軸微動ステージ2を駆動し、探針部と試料表面との間の相互作用により生じる物理量を測定することで標準試料1a上の断面形状の測定を行う。そして、探針の劣化度を示す情報として、測定された断面形状と予め同一条件の基で正常な探針で測定された断面形状とが比較して表示手段10に表示される。
請求項（抜粋）：
試料とこれに対向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査することにより、探針と試料表面との間の相互作用により生じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの分解能で測定する走査型プローブ顕微鏡において、測定対象となる試料と既知の表面形状を有する標準試料とを前記探針下へ切換え配置する駆動手段と、前記駆動手段を介して前記標準試料を前記探針下へ配置すると共に、前記標準試料または前記探針を走査し、前記標準試料の表面形状を測定する制御手段と、得られた測定信号と、予め同一条件の基で正常な探針で測定された標準信号とから前記探針の劣化度を示す情報を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, G01N 37/00
, H01J 37/28
