研磨パッド

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-371846
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176017
出願日： 2000年12月06日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】 CMP法で使用する研磨パッドにおいて、高い平坦度とウエハ面内での高い均一性とが両立可能であって、使用時に剥離等の生じる恐れがないものを提供する【解決手段】共押し出し成形後や二色成形後に含浸発泡、もしくは共押し出し発泡成形や二色発泡成形によって、貼り合わせ構造ではなく、一枚の発泡シートからなる研磨パッドを構成する。

請求項（抜粋）：

ケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドにおいて、該研磨パッドが、2種類の樹脂Aと樹脂Bとの共押し出し成形によって一枚のシートとして成形され、該シートが発泡剤含浸後に発泡シートとされる工程で製造されたことを特徴とする研磨パッド。

IPC (7件)：

H01L 21/304 622 , B24B 37/00 , B29C 47/06 , B29C 44/00 , C08J 9/12 CEW , B29L 7:00 , C08L101:00

FI (7件)：

H01L 21/304 622 F , B24B 37/00 C , B29C 47/06 , C08J 9/12 CEW , B29L 7:00 , C08L101:00 , B29C 67/22

Fターム (44件)：

3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058CB10 , 3C058DA12 , 3C058DA17 , 4F074AA38 , 4F074AC32 , 4F074BA59 , 4F074BB25 , 4F074CA29 , 4F074CC03X , 4F074CC04Y , 4F074CC06X , 4F074CC10X , 4F074CC22X , 4F074CC48 , 4F074CC49 , 4F074CD06 , 4F074DA02 , 4F074DA03 , 4F074DA09 , 4F074DA14 , 4F074DA56 , 4F207AG01 , 4F207AG03 , 4F207KA01 , 4F207KA17 , 4F207KW50 , 4F212AA16 , 4F212AB02 , 4F212AB11 , 4F212AB16 , 4F212AG03 , 4F212AG20 , 4F212AH33 , 4F212UA09 , 4F212UB22 , 4F212UC05 , 4F212UF01 , 4F212UG02 , 4F212UG05 , 4F212UG07 , 4F212UN02 , 4F212UN06

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