インクジェットプリンターヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271208
公開番号（公開出願番号）：特開平7-101068
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【構成】圧電性セラミックスからなる貫通した溝を形成した圧電性基板1に、この溝の上部に平板状の蓋2を接着し、さらに平板状の蓋2との接着によって規定されたインク流路4端部にインク吐出孔5を有するノズル板3を接着後、インク吐出孔5を保持したままノズル板3表面をマスクし、その後酸素を含むガス雰囲気中でプラズマ処理する。【効果】インク流路内へのインク注入を容易にし、さらにはインク注入時の空気の混入を防ぐことが可能となり、インク吐出特性が安定した高度の信頼性を有するインクジェットプリンターヘッドの製造方法の提供が可能となる。

請求項（抜粋）：

圧電性セラミックからなる圧電性基板に形成されている互いに平行な多数の溝とこの溝の上部に接着されている平板状の蓋とにより規定されるインク流路と、このインク流路の一方の端部に接着されているインク吐出孔を有するノズル板とによって構成され、インク流路内面に駆動用の電極膜を有する圧電駆動式インクジェットプリンターヘッドの製造方法において、平板状の蓋とノズル板とを接着後、インク吐出孔が貫通した状態でノズル板表面をマスクし、インクジェットプリンターヘッドを酸素を含むガス雰囲気中でプラズマ処理することを特徴とするインクジェットプリンターヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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