特許

J-GLOBAL ID：200903033780098563

位置合せ装置

発明者： 法西 弘明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-137945
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327324
出願日： 1995年06月05日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 位置合せ対象体に描かれたマークを精度よく検出するためにマークの照明光を最適値に自動的に調整する。【構成】 マークを照明する照明光量を複数段階の試験照明光量に亘って変化させ、各試験照明光量における画像信号における所定領域の全画素の信号値の統計的な分散値を算出し、算出された複数の分散値のうち最高分散値に対応する試験照明光量をマークの照射光量と設定する。また、照明光量を複数段階の試験照明光量に亘って変化させ、各試験照明光量における画像信号における所定領域の全画素の信号値の統計的な分散値を算出し、算出結果に基づいて分散値の試験照明光量を変数とした場合の関数を近似計算し、関数値が最大値を示す試験照明光量をマークの照射光量と設定する。

請求項（抜粋）：

移動ステージ上に載置された位置合せ対象体に描かれたマークに対して光を照射する照明手段と、前記マークを含む所定領域の画像信号を得る画像取込手段と、得られた画像信号から前記マークの位置を算出し算出されたマーク位置が所定の基準位置に位置するように前記移動ステージを移動させる移動制御手段とを具備する位置合せ装置において、前記マークに対する照射光量を複数の段階に亘って変化させる光量変化手段と、この各段階の光量における前記画像信号に基づく前記所定領域の全画素の信号値の統計的な分散値を算出し、この分散値のうちの最高値に対応する前記照射光量を最適照射光量と決定する照射光量決定手段とを具備することを特徴とする位置合せ装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G02B 21/06 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G01B 11/00 H ,  G02B 21/06 ,  G06F 15/62 405 C ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 525 X