特許
J-GLOBAL ID：200903033790126115
ダイヤモンド膜形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-292580
公開番号（公開出願番号）：特開平6-144994
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【目的】 球状多結晶ダイヤモンド膜を製造する。【構成】 この装置は、ECRプラズマCVD装置の反応室6内にダイヤモンド粒子7を収納するためのケース8を設けるとともに、ケース8内でダイヤモンド粒子7を浮遊させるための超音波発生装置14及びケース8内のダイヤモンド粒子7を回転させるためのモータ11等を設ける。
請求項（抜粋）：
プラズマ室と、前記プラズマ室にプラズマを発生させるためのプラズマ発生手段と、前記プラズマ室に発生したプラズマが導入される反応室と、前記反応室内にダイヤモンド発生用のガスを導入するガス導入手段と、前記反応室の内部にダイヤモンド粒子を収納するためのダイヤモンド粒子収納部と、前記ダイヤモンド粒子収納部の内部においてダイヤモンド粒子を浮遊させるための超音波を発生する超音波発生手段と、前記ダイヤモンド粒子収納部内のダイヤモンド粒子を回転させるための回転駆動手段と、を備えたダイヤモンド膜形成装置。
IPC (4件)：
C30B 29/04
, B01J 19/10
, C01B 31/06
, C23C 16/26
