特許
J-GLOBAL ID：200903033797891674
鏡面自動検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小堀 益
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245265
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094632
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【構成】 レーザ光源(1)と、同レーザ光源からのレーザ光を点から線に変換する光学系(3)と、試料からの反射光を受光するCCDラインセンサ(2)と、試料を線状のレーザ光に対して垂直に移動させる手段(7)と、CCDラインセンサの出力を2次元画像情報として記憶するフレームメモリと、同フレームメモリに記憶された2次元画像情報の画像解析により粗度および傷を測定する手段とを備えた鏡面自動検査装置。【効果】 CCDラインセンサを用いることにより、1方向の試料の移動で2次元画像情報が得られ、これにより、傷の浅いものでも、精度高く傷および粗度を検査することができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、同レーザ光源からのレーザ光を点から線に変換する光学系と、試料からの反射光を受光するCCDラインセンサと、前記試料を線状のレーザ光に対して垂直に移動させる手段と、前記CCDラインセンサの出力を2次元画像情報として記憶するフレームメモリと、同フレームメモリに記憶された2次元画像情報の画像解析により粗度および傷を測定する手段とを備えたことを特徴とする鏡面自動検査装置。
IPC (2件)：
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