特許
J-GLOBAL ID：200903033802103345
ウエハ保持機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305922
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132388
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 ウエハを無変形保持し、かつウエハと保持機構間に滑り生じないようにする。【構成】 ウエハ1の下方に設置した支持突起5によってウエハ1を支え、かつウエハ1を弾性変形可能な薄型静電チャック2A,2Bにより吸着する。
請求項（抜粋）：
ウエハの裏面を支える支持突起と、前記支持突起を設置しかつ前記ウエハ面の垂直方向に弾性変形する薄型静電チャックと、を備えたことを特徴とするウエハ保持機構。
IPC (2件)：
引用特許：
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