イオンビ-ム注入装置、イオンビ-ムのエネルギ-測定装置、及びイオンの平均運動エネルギ-の測定方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萼経夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252995
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100372
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】イオンビームのエネルギーを測定しかつ制御するための飛行時間エネルギー測定装置及びこれを含むイオン注入装置を提供すること。【解決手段】イオン注入装置は、イオン源、イオン加速器、ビーム形成・指向装置を含み、イオンビーム14は、所定の周波数を有する一連のイオンパルスを構成する。エネルギー測定装置200 は、第1,第2センサ210,220 、タイミング回路204 、及び変換回路206 を有して、イオンの平均運動エネルギーを測定する。イオンビーム14が各センサを通過すると、それぞれ信号を発生し、タイミング回路204 によって、選択されたイオンパルスが第1,第2センサ間の所定距離を通過する経過時間を決定し、さらにイオンパルスの平均数を計算して、オフセット時間を計算する。変換回路206 は、経過時間をイオンビームのエネルギーの測定値に変換する。

請求項（抜粋）：

イオンビーム(14)を加工物(21)に指向させるイオンビーム注入装置(10)であって、(a) 内部に加工物(21)が支持される注入室(22)を形成する注入ステーション(16)と、(b) 所定の時間間隔(T) を置いた一連のイオンパルス(P0,Pi,....,P(n+1)) を含み、かつイオン源(12)から前記注入室(22)に伸びているイオン注入装置(10)の内部領域(52)を通過するイオンビーム(14)を発生するためのイオン源(12)及びイオン加速器(18)と、(c) 前記イオンビームの選択されたイオンパルスに含まれるイオン(E(ion))の平均運動エネルギーを測定するための飛行時間エネルギー測定装置(200) とを含み、このエネルギー測定装置(200) が、1) イオンビームに隣接しされかつ所定の距離を置いて配置された第1,第2センサ(210,310;220,320) を含み、第2センサが第1センサの下流側にあり、前記第1センサ(210,310) は、イオンビームのイオンパルスが第1センサを通過するとき信号を発生し、前記第2センサ(220,320) は、イオンビームのイオンパルスが第2センサを通過するとき信号を発生し、2) さらに、前記第1,第2センサ(210,310;220,320) に電気的に連結されたタイミング回路(204) を含み、(a) 前記第1,第2センサ(210,310;220,320) 間のイオンビーム内におけるイオンパルスの平均数(N) をイオンビームエネルギーの概算値(E(approx.))に基づいて計算し、(b) 公式t(offset)=N×Tを用いる選択されたイオンパルスに対するオフセット時間t(offset)を計算し、(c) 前記選択されたイオンパルスが前記第1,第2センサによって発生した信号と前記計算されたオフセット時間を利用して前記第1,第2センサ間の所定の距離を通過する経過時間tを計算し,3) 前記選択されたイオンパルスに対する前記経過時間tを、イオンビームのエネルギー(E(ion))の測定値に変換するための変換回路(206) を含むことを特徴とする、イオンビーム注入装置。

IPC (5件)：

H01J 37/317 , C23C 14/48 , H01J 49/40 , H01J 49/44 , H01L 21/265

FI (5件)：

H01J 37/317 C , C23C 14/48 Z , H01J 49/40 , H01J 49/44 , H01L 21/265 T

前のページに戻る