特許

J-GLOBAL ID：200903033807425804

樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基板の製造方法

発明者： 細川 和行
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-054707
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243817
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基板の製造方法に関し、フォトリソグラフィー技術を利用せず、印刷法および電着法より高精度な樹脂パターンとカラーフィルタ基板を提供する。【解決手段】 支持体1に感光性型樹脂または熱硬化性樹脂の樹脂膜2を成膜し、樹脂膜2に含む溶剤が除去される温度に加熱した樹脂膜2を選択的に押圧し、現像工程で樹脂膜2の非押圧部を除去し樹脂パターン5′を形成したのち、支持体1に残置する樹脂パターン5′を硬化させて、樹脂パターン5を形成させる。感光性樹脂にてなる樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧すると共に、その押圧部に光線を照射し硬化させたのち、非押圧部を除去し樹脂パターン5を形成させる。前記樹脂パターンの形成方法を利用して第1、第2、第3の着色樹脂パターンを形成させるカラーフィルタ基板の製造方法。

請求項（抜粋）：

支持体の表面に感光性樹脂または熱硬化性樹脂の樹脂膜を形成させる成膜工程と、該樹脂の溶剤を除去する温度に該樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その押圧部を該支持体に被着させる被着工程と、該樹脂膜の非押圧部を除去する現像工程と、該支持体に被着する該樹脂膜の押圧部を硬化させる硬化工程を含むこと、を特徴とする樹脂パターンの形成方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505