特許

J-GLOBAL ID：200903033810479281

マイクロポンプ

発明者： 柿沼 弘明 ,  小野 崇人 ,  多嶋 勉
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106260
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288355
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】 構造及び加工の簡略化を図って製造工数を減らし、コストを下げて安価に提供できるようにする。【構成】 上部シリコンウエハ2で形成したダイアフラム7と、ダイアフラム7と対向する下部シリコンエウハ3との間に入口8と出口9を有して形成された気体を通過させるための通路10とを備えたものであって、ダイアフラム7に薄膜コイル5を形成するとともに、下部シリコンウエハ3の通路面に薄膜コイル5と対向して強磁性薄膜11を設けて、この強磁性薄膜11と薄膜コイル5とでなるアクチュエータ部を一体に組み込んだ。

請求項（抜粋）：

シリコン基板または絶縁膜で形成したダイアフラムと、前記ダイアフラムと対向する基板との間に入口と出口を有して形成された気体を通過させるための通路とを備えたマイクロポンプにおいて、前記ダイアフラムに設けた薄膜コイルと、前記対向基板側の前記通路面に前記薄膜コイルと対向して設けた強磁性薄膜とでなるアクチュエータ部を備えたことを特徴とするマイクロポンプ。