特許

J-GLOBAL ID：200903033816675236

化学機械研磨用研磨剤スラリ-

発明者： 久保 富美夫
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333383
公開番号（公開出願番号）：特開2000-144109
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 タングステン対窒化珪素除去選択性を有し、タングステン、チタンに対し研磨速度が向上した、貯蔵安定性に優れる研磨剤スラリ-の提供。【解決手段】 (a)粒径が0.001〜1μm の砥粒 0.1〜15重量%、(b)酸化剤 0.5〜15重量%、(c)テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、テトラアリ-ルアンモニウムヒドロキシド、テトラアルキルホスホニウムヒドロキシドおよびテトラアリ-ルホスホニウムヒドロキシドより選ばれた水酸基を有する化合物と無機酸を反応させて得られたオニウム塩0.1〜10重量%、および(d)無機酸または有機酸、を含有するpH 1〜6の水性研磨剤スラリ-。

請求項（抜粋）：

(a)粒径が0.001〜1μm の砥粒 0.1〜15重量%、(b)酸化剤 0.5〜15重量%、(c)テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、テトラアリ-ルアンモニウムヒドロキシド、テトラアルキルホスホニウムヒドロキシドおよびテトラアリ-ルホスホニウムヒドロキシドより選ばれた水酸基を有する化合物と無機酸とを反応させて得られたオニウム塩0.1〜10重量%、および(d)無機酸または有機酸、を含有するpH 1〜6の水性研磨剤スラリ-。

IPC (5件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  C09K 13/06 ,  H01L 21/304 622

FI (5件)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 C ,  B24B 37/00 H ,  C09K 13/06 ,  H01L 21/304 622 D

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17