特許

J-GLOBAL ID：200903033820426658

薄膜トランジスタ装置、薄膜トランジスタ装置の製造方法、液晶表示装置及び、液晶表示装置用アクティブマトリクス基板の製造方法

発明者： 後藤 康正
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269103
公開番号（公開出願番号）：特開2001-094110
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 駆動回路一体型のアクティブマトリクス基板を容易且つ短時間で製造可能とし、その低価格化を図ることにより、低消費電力、高密度大容量且つ高精細な液晶表示装置の実用化を図る【解決手段】 ガラス基板20上に、第1のシリコン酸化膜28及び第2のシリコン酸化膜34が形成されるp-Si膜からなる第1の半導体層31と、表面に第2のシリコン酸化膜34のみが形成されるp-Si膜からなる第2の半導体層32とを形成後、ゲート電極36、37をマスクに、第1及び第2の半導体層31、32を単一のイオンドーピング工程にて活性化し、しきい値の異なる第1及び第2のp型p-SiTFT21、22を得る。更にこのような第1及び第2のp型p-SiTFT21、22をアクティブマトリクス基板に適用し高密度大容量且つ高精細な液晶表示装置の低価格化を図る。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板と、この絶縁性基板上に形成され多結晶シリコン膜からなる島状の第1の半導体層、この第1の半導体層上に配され前記多結晶シリコン膜の一部が強制酸化されてなる第1の酸化膜、この第1の酸化膜上に配される第2の酸化膜及びこの第2の酸化膜上に形成される第1のゲート電極を有する第1の薄膜トランジスタと、前記絶縁性基板上に形成され前記多結晶シリコンからなる島状の第2の半導体層、この第2の半導体層上に配される前記第2の酸化膜及びこの第2の酸化膜上に形成される第2のゲート電極を有する第2の薄膜トランジスタと、を具備することを特徴とする薄膜トランジスタ装置。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/336

FI (7件)：

G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/78 617 U ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 617 V ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (87件)：

2H092GA59 ,  2H092JA25 ,  2H092JA35 ,  2H092JA36 ,  2H092JA40 ,  2H092JA44 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KA10 ,  2H092KA12 ,  2H092KA15 ,  2H092MA07 ,  2H092MA15 ,  2H092MA23 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092NA21 ,  5C094AA05 ,  5C094AA13 ,  5C094AA22 ,  5C094AA23 ,  5C094AA25 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB03 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F052AA02 ,  5F052BB07 ,  5F052DA02 ,  5F052FA01 ,  5F052JA01 ,  5F052JA10 ,  5F110AA08 ,  5F110AA09 ,  5F110AA12 ,  5F110AA16 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC06 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD14 ,  5F110EE06 ,  5F110EE28 ,  5F110FF02 ,  5F110FF09 ,  5F110FF21 ,  5F110FF22 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG51 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL12 ,  5F110NN02 ,  5F110NN73 ,  5F110NN78 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ11