特許
J-GLOBAL ID：200903033821553084
有機エレクトロルミネッセンス素子の電極形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-271770
公開番号（公開出願番号）：特開2002-083678
出願日： 2000年09月07日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：
【要約】【課題】 従来よりも大幅に厚くした所定厚さの有機物層を成膜した有機エレクトロルミネッセンス素子の陰極分離を効果的に行う電極形成方法を提供する。【解決手段】陽極付き基板の上に、少なくとも画素発光部のある有機物層を厚膜で成膜した後に、画素発光部以外の領域をレーザーなどの高エネルギービームで有機物層の膜厚に対して25%から75%除去し、その後、陰極として用いる金属を全面に蒸着成膜することにより、有機物層が厚い有機エレクトロルミネッセンス素子の陰極分離を行う。
請求項（抜粋）：
透明基板上に少なくとも、陽極と、画素発光部のある有機物層と、陰極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子の電極形成方法において、有機物層の膜厚を従来よりも大幅に厚くした所定厚さの有機物層を成膜し、次いで、高エネルギービームを用いて、画素発光部以外の有機物層を、陰極ラインパターンと平行になるようにかつ有機物層の膜厚に対して25%〜75%除去して陰極分離用の溝を形成し、続いて、有機物層の全面に陰極としての金属を蒸着することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の電極形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007CA01
, 3K007CB01
, 3K007DA01
, 3K007DB03
, 3K007EB00
, 3K007FA01
