特許

J-GLOBAL ID：200903033832579611

液体噴射記録ヘッド用基板およびその製造方法ならびに液体噴射記録装置

発明者： 殿垣 雅彦 ,  尾崎 照夫 ,  森 利浩 ,  今仲 良行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-179042
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010882
出願日： 1997年06月19日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】 液体噴射記録ヘッドの高密度化を可能とするとともに、省電力、高耐久性および高速応答性を達成し、記録品質の向上を図ることが可能な液体噴射記録ヘッド用基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に電極配線層2を形成し、その上にパターニングされた層間絶縁層3を形成し、層間絶縁層3をパターニングにより部分的に除去して金属を埋め込んでスルーホール部4を形成し、そして層間絶縁層3をパターニングにより部分的に除去した凹部に金属膜を配した後、大気にさらさない状態で連続的に加熱して、凹部に金属単結晶を堆積させて電極配線層5とし、その後、CMP法によって層間絶縁層3、スルーホール部4および電極配線層5を研磨して平坦化し、この平坦化された表面に発熱抵抗体層6を形成し、さらにその上に保護層7、8を形成して、液体噴射記録ヘッド用基板を作製する。

請求項（抜粋）：

飛翔液滴を形成するために液体を噴射する吐出口に連通する液流路を形成する複数の熱作用部と、該熱作用部の各々に満たされている液体に熱を効果的に伝達するように各熱作用部毎に設けられている複数の発熱体と、該発熱体の各々を独立に駆動するための信号を分離して所望の発熱体を駆動するように設けられた複数の機能素子で構成される駆動回路とを具備してなる液体噴射記録ヘッド用基板において、前記発熱体に電気的に接続される電極配線は、第1の電極と第2の電極とからなり、これらの電極は前記基板内で前記発熱体の層より下層に配置されて、立体的な折り返し構造として配設されていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド用基板。

IPC (2件)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-281360
  
• 記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-090206   出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開平3-281360
  
• 記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-090206   出願人：三菱電機株式会社