特許

J-GLOBAL ID：200903033852077043

ガス流量制御装置

発明者： 平田 昌洋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-213959
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066137
出願日： 1993年08月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 流量制御が適正に行われ、この流量制御が不適正な場合には、異常を判断できるようなガス流量制御装置を提供する。【構成】 流量判断部3は、第1の比較回路15、電流制御回路16、第2の比較回路17より構成される。上記第1の比較回路15は、検出結果に基づく流量検出信号VA と流量設定信号VB とを比較して両者を等しくするために必要な制御電流Iを出力する。上記電流制御回路16は、前記第1の比較回路15と並列に接続され、前記流量設定信号VB に対応する最大許容電流Imax を出力する。上記第2の比較回路17では、制御電流Iと最大許容電流Imax とを比較し、|I|≦|Imax |であれば、制御電流Iを駆動信号として流量制御部4に供給し、ガス流路1の開閉を行い、|I|>|Imax |であれば、異常表示をするとともに、制御電流Iの流量制御部4への供給を停止するように動作する。

請求項（抜粋）：

ガスの流量を検出する流量検出手段と、前記流量検出手段の検出結果に基づいて生成される流量検出信号と流量設定手段から出力される流量設定信号とを比較する第1の比較回路と、前記第1の比較回路と並列に接続される電流制御回路と、前記第1の比較回路と前記電流制御回路の各出力信号を比較する第2の比較回路と、前記第2の比較回路の判断結果に基づいてガスの流量を制御する流量制御手段とを備えてなるガス流量制御装置。

IPC (6件)：

H01L 21/205 ,  B01J 4/02 ,  C23C 16/52 ,  C23F 4/00 ,  C30B 25/16 ,  G05D 7/06