特許
J-GLOBAL ID：200903033855015456
基板試験装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210585
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058975
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】 基板の導通試験装置に関し,探針を使用しないで電気光学効果を利用し,基板を破壊する恐れのない装置の提供を目的とする。【構成】 基板に形成された配線の導通状態を試験する装置であって,該基板に接触させる電気光学効果と光導電性の両方の性質を持つ結晶と,該結晶の該基板とは反対側の面に被着された透明電極と,該透明電極に接続して電圧を印加する電源と,光導電性を示す波長の光を被測定配線に該結晶を通して照射する書込光ビーム照射部と,電気光学効果を示す波長の読出光を該結晶に照射し,該結晶からの反射光像を観測する電気光学式画像測定部とを有するように構成する。
請求項（抜粋）：
基板に形成された配線の導通状態を試験する装置であって,該基板に接触させる電気光学効果と光導電性の両方の性質を持つ結晶と,該結晶の該基板とは反対側の面に被着された透明電極と,該透明電極に接続して電圧を印加する電源と,光導電性を示す波長の光を被測定配線に該結晶を通して照射する書込光ビーム照射部と,電気光学効果を示す波長の読出光を該結晶に照射し,該結晶からの反射光像を観測する電気光学式画像測定部とを有することを特徴とする基板試験装置。
IPC (2件)：
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