特許
J-GLOBAL ID：200903033856029019
パタン形成材料及びそれを用いたパタン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090609
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289322
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】溶解速度がある現像時間で大きく変化するパタン形成材料に透過率の異なるパタンを有するマスクを介して露光することにより段差のあるパタンを形成する。【構成】アルカリ可溶性フェノール樹脂,溶解抑制剤,酸前駆体と酸捕捉剤を含むパタン形成材料の露光,ベーク後の溶解速度はある現像時間で大きく変化する。この材料に透過率の異なるパタンを有するマスクを介して露光した後ベーク,現像を行うことにより段差のあるパタンを形成する。【効果】短波長光露光装置を用いた露光法により段差のある高解像度のパタンを形成することができる。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性フェノール樹脂,溶解抑制剤,酸前駆体,酸捕捉剤からなる化学増幅系レジスト組成物の塗膜であって、溶解速度がその塗膜の途中で変わることを特徴とするパタン形成材料。
IPC (6件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/023 511
, G03F 7/028
, G03F 7/20 521
, G03F 7/30
, H01L 21/027
H01L 21/30 301 R
, H01L 21/30 361 L
