特許

J-GLOBAL ID：200903033866507938

電子線発生装置及び光電面収容カートリッジ

発明者： 佐々部 順 ,  鈴木 重司 ,  飯上 芳樹
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228089
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045368
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 電子線発生装置の使用者に光電面の製膜をする必要がない電子線発生装置を提供すること。【解決手段】 電子線発生装置1に使用される光電面31は光電面収容カートリッジ3に収容されている。光電面収容カートリッジ3は光電面31を最初に使用する前に破られる金属膜を含む蓋を備える。待機室71に配置された光電面収容カートリッジ3は、押出用パイプ13により膜破り器9に向けてレーザ光照射室73に押し出される。この押し出しのときに光電面収容カートリッジ3により膜破り器9のレバー92,95が押圧され、膜破り器9の円錐面部91が開くことにより光電面収容カートリッジ3の蓋である金属膜が破られる。

請求項（抜粋）：

光電面と、内部に前記光電面が収容されるカートリッジと、前記光電面から放出される電子を前記カートリッジの外部に取り出すことができるようにするために前記光電面が最初に使用される前に開けられものであり前記内部と前記カートリッジの外部とを遮断する蓋と、を含む光電面収容カートリッジを保持する手段と、前記保持する手段で保持された前記光電面収容カートリッジの前記蓋を開ける手段と、前記蓋が開けられた前記光電面収容カートリッジの前記光電面から電子を放出させるために前記光電面にレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、を備えた電子線発生装置。

IPC (5件)：

H01J 37/073 ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/04 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01J 37/073 ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 1/00 E ,  G21K 5/04 F ,  G21K 5/04 M ,  H01L 21/30 541 T

Fターム (6件)：

2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C030CC10 ,  5F056AA23 ,  5F056EA04 ,  5F056FA05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-094238
  
• 電子ビーム発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-109867   出願人：浜松ホトニクス株式会社