帯状の試料の中心を検出する方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-060524
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273146
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】帯状の試料の中心を、X線強度分布から、短時間で正確に検出する。【構成】初めに、試料の存在する領域を粗くスキャン測定し、その結果から試料の大まかな仮中心を計算し、そこを基準としてさらにデータを集め、その結果から重心を計算し、確度をあげるためにいくつかの補正を行って、中心の検出を実現する。【効果】本発明を用いることにより、リードフレームやTAB等の蛍光X線を用いたメッキ膜厚測定において、試料観察光学系の精度によらない位置合わせが可能になり、低倍率の試料観察光学系では位置合わせが困難な試料についても、特別にハードウェアを追加せずに迅速、正確な位置合わせが可能になる等、測定の信頼性操作性の大幅な向上をもたらす。

請求項（抜粋）：

制御可能で少なくとも左右または上下に試料を移動する試料テーブルと、X線照射位置が確認可能な試料モニター部と、X線発生部と、X線検出部と、情報入力及び表示を行う操作部と、装置全体を制御する装置制御部から構成される蛍光X線膜厚測定装置を用いて、試料ステージの移動方向と直角に配置された、蛍光X線を検出可能な、等間隔で並んだ帯状の試料または、周りの領域と蛍光X線的に区別が可能な帯状の領域の中心を、第一に、試料または領域の配置されているピッチに相当する範囲について、試料または領域の幅程度の粗い間隔で、スキャン測定し、第二にその中でなるべく測定開始点に近く、X線強度の強い位置を判断し、第三にその位置と両隣の3点のX線強度のレンジを平均値で割った値を用いて、第二段階でX線強度が大きいと判断された点と帯状の試料または領域のおよその位置関係を判断し、第三に上記判断を基に帯状の試料または領域の周辺をその幅の半分程度の間隔で測定し、その位置とX線強度のデータの重心を求め、第四にその重心に対して、対象とする試料または領域から離れているため無関係と判断されるデータを除き再び重心を計算し、第五に、二回目の重心計算結果を基に試料または領域のエッジ付近と推定される二点を測定し、そのデータを加えて重心計算する事によって求める方法。

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