特許

J-GLOBAL ID：200903033874106632

干渉計

発明者： 山田 隆俊
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 多田 繁範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-311353
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141912
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】従来に比して外乱の影響を低減して、測定精度を向上する。【解決手段】回折格子12により被測定光L2から回折光L21を生成し、この回折光L21を一様な位相に変換して参照光を生成する。

請求項（抜粋）：

位相情報を有してなる被測定光を収束光に変換する収束光学系と、前記収束光学系の入射面側、又は収束光学系の出射面側、前記収束光の収束位置までの間に配置されて、前記被測定光又は前記収束光を回折する回折格子と、前記収束光の収束位置において、前記回折格子より出射される所定次数の回折光を、前記所定次数の回折光の位相情報を保持したまま選択的に出射する第1の光選択手段と、前記第1の光選択手段に隣接して配置され、前記第1の光選択手段における回折光と異なる次数の回折光を、一様の位相に変換して選択的に出射する第2の光選択手段とを備えることを特徴とする干渉計。