特許
J-GLOBAL ID：200903033885031650
マグネトロンスパッタ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139782
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311432
出願日： 1992年05月01日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 マグネトロンスパッタ方法のプラズマの着火性を向上させて真空チャンバ内の圧力をより低くすること。【構成】 エア-供給管71の一端をシリンダ作動部72に接続させると共に、当該シリンダ作動部72に内蔵されたバネ及びエア-供給管71よりのエア-によって縮退、伸長するシリンダ73の一端を磁石ユニット6に接続させて移動機構7を構成する。プラズマ着火時には、シリンダ作動部72内の圧力を解除してバネの復元力によってシリンダ73を縮退させて磁石ユニット6を所定の着火位置に置いて着火し、着火後はエア-供給管71よりのエア-圧力によってバネの復元力に抗してシリンダ73を伸長させて磁石ユニット6をタ-ゲット5の周縁部に移動させ、更に当該周縁部を公転させる。
請求項（抜粋）：
磁石ユニットをタ-ゲットの周方向に移動させて、当該タ-ゲットの表面に沿って形成されるプラズマリングを回転させるマグネトロンスパッタ方法において、タ-ゲットの周縁部と前記タ-ゲットの中心部との間で磁石ユニットを移動させる移動機構を設け、プラズマ着火時は前記中心部に磁石ユニットを位置させ、プラズマ着火後は前記周縁部に移動させることを特徴とするマグネトロンスパッタ方法。
IPC (2件)：
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