特許
J-GLOBAL ID:200903033885071512

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-106907
公開番号(公開出願番号):特開平6-317901
出願日: 1993年05月07日
公開日(公表日): 1994年11月15日
要約:
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物及び溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物において、該溶剤が、乳酸低級アルキルエステル〔A〕と酪酸エチル〔B〕とよりなり、〔A〕と〔B〕との混合割合(重量比)が、〔A〕/〔B〕で、80/20〜95/5であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【効果】 本発明の感光性樹脂組成物は、安全性が高く、均一塗布性が良好である。
請求項(抜粋):
アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物及び溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物において、該溶剤が、乳酸低級アルキルエステル〔A〕と酪酸エチル〔B〕とよりなり、〔A〕と〔B〕との混合割合(重量比)が、〔A〕/〔B〕で、80/20〜95/5であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2件):
G03F 7/022 ,  H01L 21/027
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平4-012357
  • 特開平3-200251
  • 特開平3-119358
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