特許

J-GLOBAL ID：200903033886419059

基板搬送用ハンド

発明者： 上野 光 ,  村上 弘記 ,  星野 修二
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 島村 芳明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178215
公開番号（公開出願番号）：特開2000-006073
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 サイズの異なった多種類の基板にも対応でき、製造ラインの段取り替えなどのロスタイムを無くすことができる。【解決手段】 基板4を水平に把持して移送する基板搬送用ロボットに使用されるハンド1であって、先端にV字状の切欠き部1aを有する4角形状をしており、先端の切欠き部1aの両側と切欠き部1aの底部近傍から中心線に沿った複数個所に基板4を支持する突起8を設けるとともに、前記切欠き部1aの両側の突起の手前側とハンド1中間部の両側とに基板4に吸着する吸盤5を有する。

請求項（抜粋）：

基板を水平に把持して移送する基板搬送用ロボットに使用されるハンドであって、先端にV字状の切欠き部を有する4角形状をしており、先端の切欠き部の両側と切欠き部の底部近傍から中心線に沿った複数個所に基板を支持する突起を設けるとともに、前記切欠き部の両側の突起の手前側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤を有することを特徴とする基板搬送用ハンド。

IPC (4件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/07 ,  H01J 9/46 ,  H01J 17/16

FI (5件)：

B25J 15/06 M ,  B65G 49/07 C ,  B65G 49/07 G ,  H01J 9/46 A ,  H01J 17/16

Fターム (10件)：

3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB03 ,  3F061CB05 ,  3F061CC03 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  3F061DD03 ,  5C012AA09 ,  5C040EE06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体ウェハ移送ロボット用アーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-312473   出願人：三星電子株式会社