特許
J-GLOBAL ID：200903033888784196
容量型センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-163744
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332867
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 容量型センサの温度変化に起因する測定誤差を減少させること。【構成】 基準周波数発生回路50からは検出すべき物理量の変化によって変化しない基準容量Cr に対応した周波数のパルス信号fr が出力される。又、基準周波数発生回路50と同様に構成された測定周波数発生回路60からは検出する物理量に感応して容量が変化する測定容量Cs に対応した周波数のパルス信号fs が出力される。これらパルス信号fr,fs は温度に対する変化量が同じとすると、信号出力回路60により単なる周波数の比にて決定されるパルス信号となる。LPF70と差動増幅器80では上記パルス信号のデューティ比(fs/fr)に基づいて検出すべき物理量が算出される。これにより、温度変化に起因する測定誤差が減少し、ゼロ点温度特性或いは感度温度特性の何れかの特性が補償された容量型センサとなる。
請求項（抜粋）：
検出すべき物理量の変化によって変化する容量を有する測定キャパシタと、前記測定キャパシタに接続され、その測定容量に逆比例した周波数のパルス信号を出力する測定周波数発生回路を有する容量型センサにおいて、前記測定キャパシタと同じ環境雰囲気中に構成され、検出すべき物理量の変化によって変化しない基準容量を有する基準キャパシタと、前記基準キャパシタに接続され、前記測定周波数発生回路と同様に構成され、その基準容量に逆比例し、前記測定周波数発生回路から出力されるパルス信号の少なくとも2倍以上の周波数のパルス信号を出力する基準周波数発生回路と、前記基準周波数発生回路の出力するパルス信号と前記測定周波数発生回路の出力するパルス信号とを入力して前記測定周波数発生回路の出力するパルス信号に基づく所定の周期で前記基準周波数発生回路の出力するパルス信号幅に比例した一つのパルス信号を出力する信号出力回路と、前記信号出力回路から出力されるパルス信号のデューティ比に基づいて前記検出すべき物理量を算出する出力演算回路とを備えたことを特徴とする容量型センサ。
IPC (2件)：
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