特許

J-GLOBAL ID：200903033895320162

高放熱リッド用の窒化アルミニウム系焼結体の製造方法

発明者： 藤 信男 ,  橋本 昌也 ,  内山 一郎
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-162834
公開番号（公開出願番号）：特開平11-012039
出願日： 1997年06月19日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】 アルミナICパッケージの高放熱リッド材料として好適な、アルミナとほぼ等しい熱膨張係数を有し、アルミナに比べて熱伝導率が著しく高い窒化アルミニウム系焼結体を、加圧工程を必要とせずに、従来よりも低い焼成温度で製造する。【解決手段】 窒化アルミニウム粉末と、この粉末の30〜50体積%の量の窒化チタン粉末または20〜30体積%の量のニッケル粉末と、窒化アルミニウム粉末と窒化チタンまたはニッケル粉末の合計重量100 部に対して 0.5〜2重量部の量のY2O3-CaO-Al2O3系焼結助剤とからなる混合物の成形体を非酸化物セッター上に載置し、加圧せずに還元性雰囲気中1650〜1750°Cで焼結させる。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム粉末と、この粉末の30〜50体積%の量の窒化チタン粉末と、窒化アルミニウム粉末と窒化チタン粉末の合計重量100 部に対して 0.5〜2重量部の量のY2O3-CaO-Al2O3系焼結助剤(重量%でY2O3: 42〜46%、CaO:45〜49%、Al2O3:8〜10%の組成のもの)とからなる混合物を成形し、得られた成形体を還元性雰囲気中1650〜1750°Cで焼結させることを特徴とする、窒化アルミニウム系焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C04B 35/581 ,  H01L 23/373

FI (2件)：

C04B 35/58 104 F ,  H01L 23/36 M