特許
J-GLOBAL ID：200903033903234963
セラミックスの分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅原 正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-065295
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246698
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 共通の特定成分を含有する複数の相が混在したセラミックス体において、それら相の存在量に関する情報を容易に得ることができる分析方法を提供する。【解決手段】 上記分析方法においては、分析対象となるセラミックス体は、含まれる相の2以上のものが共通の特定成分を含有する類似成分相となっており、上記類似成分相の存在比率が互いに異なる部分間において表面粗度に差を生じるものが使用される。該セラミックス体の表面に電子線を照射することにより、上記特定成分に基づく蛍光X線を放出させ、その蛍光X線を検出器により検出する。そして、検出される蛍光X線の強度がセラミックス体の表面粗度に応じて変化することを利用して、上記検出される蛍光X線の強度に基づきそれら類似成分相の存在量に関する情報を得る。
請求項（抜粋）：
互いに異なる複数の相が混在したものとして構成され、それら複数の相の少なくとも2以上のものが共通の特定成分を含有するもの(以下、類似成分相という)となっているセラミックス体の分析方法であって、前記セラミックス体には、前記類似成分相の存在比率が互いに異なる部分間においてその表面粗度に差を生じており、そのセラミックス体の表面に電子線を照射することにより、前記特定成分に基づく蛍光X線を該表面から放出させ、その蛍光X線を、前記セラミックス体の表面に対し所定の位置関係で配置された検出器により検出するとともに、検出される前記蛍光X線の強度が、前記セラミックス体の表面粗度に応じて変化することを利用して、前記セラミックス体の表面の所定の領域からの前記蛍光X線の検出強度に基づき、前記類似成分相の少なくともいずれかのものの、該領域における存在量に関する情報を得るようにしたことを特徴とするセラミックスの分析方法。
引用特許：
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