特許

J-GLOBAL ID：200903033903942763

電極成膜方法及び電極成膜装置

発明者： 阿久津 哲 ,  桜井 秀紀
出願人/特許権者： ミヨタ株式会社 ,  シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327667
公開番号（公開出願番号）：特開平9-307388
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 電極成膜を精度よく行う。【解決手段】周波数調整用モニター振動片の形状、電極、振動周波数等をワーク振動片に近づけ、ワーク振動片と振動周波数調整用モニター振動片を成膜装置の同じ条件位置に置く。また振動周波数調整用モニター振動片の振動周波数を共振法で測定する。

請求項（抜粋）：

成膜レートコントロール用モニターと振動周波数調整用モニターを使用し、成膜レートコントロール用モニターで成膜レートをコントロールし、振動周波数調整用モニターで成膜終了確認をすることを特徴とする電極成膜方法。

IPC (4件)：

H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/19

FI (5件)：

H03H 3/02 B ,  H03H 3/02 A ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z