特許

J-GLOBAL ID：200903033906718155

露光装置

発明者： 森重 幸雄
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-270708
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122483
出願日： 1993年10月28日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】 紫外域で線幅の狭い露光用光源において、波長線幅の安定した、信頼性の高い露光装置を提供する。【構成】 波長193nmの露光用狭帯域レーザ光源を用いる露光装置において、波長基準を1.5μm帯のDFBレーザ1とし、DFBレーザの第2高調波を772nm発振器に注入同期したのち、さらに772nm発振器からの出力光の第4高調波をスレーブArFエキシマレーザ14に注入同期する構成を用いる。【効果】 波長安定性に優れ、かつ、装置が小型で信頼性が高い実用性の高い装置が得られる。

請求項（抜粋）：

注入同期方式の極紫外光を用いる露光装置において、注入光源の基本波長光源となる1.5μm帯のDFBレーザと、DFBレーザの温度を一定に保つ温度調節器と、DFBレーザ光の第2高調波光を発生する第2高調波発生器と、前記第2高調波光に注入同期されて動作する波長可変固体レーザと、波長可変固体レーザ光の第2高調波、第3高調波、第4高調波をそれぞれ発生する高調波発生素子と、第4高調波光に注入同期されて動作するスレーブエキシマレーザと、スレーブエキシマレーザの励起タイミングと、DFBレーザの出力タイミングと波長可変固体レーザの励起タイミングを調整するタイミングコントローラとからなる露光用光源を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (7件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/097 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/18

FI (2件)：

H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/097 Z