特許
J-GLOBAL ID：200903033908112300
面形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-016587
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211427
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 並進移動に伴う偏角による誤差を補正して被測定面の面形状を高精度に測定することが可能な面形状測定装置を提供する。【解決手段】 制御部は、並進ステージ5および回転ステージ6,8を制御して測定プローブ7の光軸7aを被測定物4の被測定面4aのうち着目する部分面の法線に一致させる。レーザー測長器10A〜10Fは、平面ミラー9A〜9Cとの距離を測定して距離信号を出力する。制御部は、レーザー測長器10A〜10Fからの距離信号に基づいて並進ステージ最上部5aの偏角(ピッチング、ヨーイング、ローリング)を演算する。測定プローブ7は、着目する部分面上の各点との距離を光学的に測定して測定信号を出力する。制御部は、演算した偏角に基づいて測定プローブ7からの測定信号を補正する。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面に測定光を照射し、前記表面で反射した前記測定光を受光して測定信号を出力する測定プローブと、前記被測定物に対し前記測定プローブを相対的に並進移動させる並進移動手段と、前記被測定物に対し前記測定プローブを相対的に回転移動させる回転移動手段と、前記並進移動手段によって並進移動される前記測定プローブあるいは前記被測定物の偏角を検出する偏角検出手段と、前記並進移動手段および前記回転移動手段を制御して前記測定プローブおよび前記被測定物を所定の位置に位置決めし、前記測定プローブから出力される前記測定信号を前記偏角検出手段が検出した前記偏角に基づいて補正する制御手段とを備えたことを特徴とする面形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 A
, G01B 21/00 H
