特許
J-GLOBAL ID：200903033910220862
積層型圧電アクチュエータ素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-148449
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321383
出願日： 1994年05月26日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】電圧を印加する事により伸縮する積層型圧電アクチュエータ素子において、変位特性を損なう事無く、高湿度環境下での素子の絶縁抵抗劣化を少なくし、信頼性を向上させる。【構成】積層型圧電アクチュエータ素子を、金属またはガラス等の耐湿性容器中に樹脂で埋設し、素子の一部もしくは素子に接着した剛体の一部を樹脂外に露出させる。
請求項（抜粋）：
電圧を印加する事により伸縮する積層型圧電アクチュエータ素子において、外被覆は耐湿性材にて形成された容器よりなり、前記容器中に素子の活性部及び不活性部の一部もしくは素子に接着した剛体の一部を樹脂外に露出するように配設し、前記容器と素子の間に形成する隙間に樹脂もしくは半田を注入して内被覆を形成する事を特徴とする積層型圧電アクチュエータ素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 R
, H01L 41/22 Z
