特許
J-GLOBAL ID:200903033911168481

ガスセンサ素子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 求馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-324909
公開番号(公開出願番号):特開2004-157063
出願日: 2002年11月08日
公開日(公表日): 2004年06月03日
要約:
【課題】ヒータと酸素ポンプセル、センサセル、モニタセルとの絶縁抵抗を大きくし、リーク電流の影響を受けずに、正確に特定ガス成分濃度を検出する。また、製造効率を向上しコストを低減する。【解決手段】ピンホール11を介してNOxを含む排ガスが導入される内部空間7内の酸素濃度を、固体電解質体51と一対の電極2a、2bからなる酸素ポンプセル2で調整し、固体電解質体52と一対の電極4a、4bからなるセンサセル4を流れる電流値から排ガス中のNOx濃度を検出する。これらセル2、4のリード部2c、2d、4c、4dと、外部へ電気信号を出し入れするためにのセンサ素子表面に設けられた端子部P1、P2とを、センサ素子表面に形成した導線L1、L2を介して接続することで、これらセル2、4を所定の活性温度まで加熱するヒータ9との間の絶縁を確保する。また、スルーホールに起因する断線や亀裂を防止する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
所定の拡散抵抗の下に被測定ガスが導入される内部空間と、酸素イオン導電性の固体電解質体の表面に、一方の電極が上記内部空間に面するように設けられた一対の電極を有し、これら一対の電極への通電により上記内部空間に酸素を導入または排出して上記内部空間内の酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと、 酸素イオン導電性の固体電解質体の表面に、一方の電極が上記内部空間に面するように設けられた一対の電極を有し、被測定ガス中の特定ガス成分濃度を検出するセンサセルと、 上記酸素ポンプセルおよび上記センサセルを所定の活性温度まで加熱するヒータとを有する積層構造のガスセンサ素子であって、 外部へ電気信号を出し入れするためにセンサ素子表面に設けられた端子部と、上記酸素ポンプセルおよび上記センサセルのうち少なくとも一方のリード部とを、センサ素子表面を介して接続したことを特徴とするガスセンサ素子。
IPC (2件):
G01N27/416 ,  G01N27/419
FI (6件):
G01N27/46 331 ,  G01N27/46 327A ,  G01N27/46 327E ,  G01N27/46 327G ,  G01N27/46 327J ,  G01N27/46 327R
引用特許:
審査官引用 (16件)
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