特許
J-GLOBAL ID：200903033912841929
感放射線性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-193556
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019482
出願日： 1991年07月09日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【構成】(a)式(1)で表わされるシリルオキシフェニル基含有繰返し単位および式(2)で表わされるヒドロキシフェニル基含有繰返し単位を含有してなり、かつ式(1)で表わされる繰返し単位対式(2)で表わされる繰返し単位の比率が20〜70:80〜30であり、そして25,000〜300,000のポリスチレン換算重量平均分子量を有する重合体と(b)オニウム塩とを含有してなる感放射線性組成物。【効果】現像液による膨潤がなく、現像性、パターン形状、コントラスト、耐熱性などに優れ、高解像度で高感度であり、様々な放射線源に対応し、微細なラインアンドスペースが解像できるレジスト組成物として好適な、感放射線性組成物を提供できる。
請求項（抜粋）：
(a)下記式(1)【化1】で表わされる繰返し単位 および下記式(2)【化2】で表わされる繰返し単位を含有してなり、かつ式(1)で表わされる繰返し単位対式(2)で表わされる繰返し単位の比率が20〜70:80〜30であり、そして25,000〜300,000のポリスチレン換算重量平均分子量を有する重合体と(b)オニウム塩とを含有してなる感放射線性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/075 511
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
