特許
J-GLOBAL ID:200903033919436531

液体材料の塗布装置、塗布方法およびプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 須藤 阿佐子 ,  須藤 晃伸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-258115
公開番号(公開出願番号):特開2009-082859
出願日: 2007年10月01日
公開日(公表日): 2009年04月23日
要約:
【課題】液体材料の応答時間の遅れや経時的な粘度の変化などの問題を予め多数の制御データを準備しなくとも解消することができる液体材料の塗布装置、塗布方法およびプログラムの提供。【解決手段】ワークと、ワークと対向するスクリュー式ディスペンサを一定速度で相対移動させ、液体材料の吐出量を非一定で連続塗布するにあたり、塗布開始前に吐出量を変化させる際の応答遅れ時間を算出する応答時間算出工程を有する塗布方法であって、応答時間算出工程は、移動速度を一定とした塗布の途中でディスペンサに吐出量を変化させる信号を送信し、その時間を記憶する第1工程と、塗布された液体材料を計測することで吐出量の変化開始時間を算出し、その時間を記憶する第2工程と、第1工程で記憶した時間と第2工程で記憶した時間との差分値を吐出量を変化させる際の応答遅れ時間として記憶する第3工程と、を有する液体材料の塗布方法、塗布装置およびプログラム。【選択図】図11
請求項(抜粋):
液体材料を吐出するスクリュー式ディスペンサを備えた吐出ユニットと、ワークを載置するテーブルと、吐出ユニットとワークを相対移動させる駆動手段と、ワーク上に塗布された液体材料の吐出量を計測する計測ユニットと、これらの動作を制御する制御部とを備える塗布装置であって、 前記制御部は、ワークと吐出ユニットを非一定速度で相対移動させ、液体材料の吐出量を非一定とする描画パターンに連続塗布するにあたり、塗布開始前に吐出量を変化させる際の応答遅れ時間を算出する応答時間算出機能であって、移動速度を一定とした塗布の途中で吐出ユニットに吐出量を変化させる信号を送信し、その時間を記憶する第1ステップと、塗布された液体材料を計測することで吐出量の変化開始時間を算出し、その時間を記憶する第2ステップと、第1ステップで記憶した時間と第2ステップで記憶した時間との差分値を吐出量を変化させる際の応答遅れ時間(Td)として記憶する第3ステップと、を有する応答時間調整機能を備えることを特徴とする液体材料の塗布装置。
IPC (4件):
B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B05C 5/00 ,  B05C 13/02
FI (4件):
B05C11/10 ,  B05D1/26 Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C13/02
Fターム (23件):
4D075AC08 ,  4D075AC88 ,  4D075AC91 ,  4D075AC94 ,  4D075DA06 ,  4D075DA34 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA14 ,  4F041AA05 ,  4F041AA17 ,  4F041AB01 ,  4F041BA06 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  4F042AA10 ,  4F042AA28 ,  4F042AB00 ,  4F042BA04 ,  4F042BA12 ,  4F042BA25 ,  4F042DF01 ,  4F042DF15
引用特許:
出願人引用 (5件)
  • ペースト塗布機と塗布方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-030044   出願人:株式会社日立インダストリイズ
  • 特許第3769261号公報
  • 塗布剤の塗布装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-158257   出願人:松下電器産業株式会社
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審査官引用 (3件)
  • 塗布剤の塗布装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-158257   出願人:松下電器産業株式会社
  • 基板塗布装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-304131   出願人:大日本スクリーン製造株式会社
  • 塗布液塗布装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-162726   出願人:大日本スクリーン製造株式会社

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