特許
J-GLOBAL ID：200903033920021965
微細構造体の製造方法、該微細構造体を備えた装置の製造方法、該製造方法による微細構造体、該微細構造体製造用装置並びに該微細構造体を備えた装置製造用装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-287390
公開番号（公開出願番号）：特開2003-094445
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 微細構造体を製造するための装置を大型化する必要性がなく、高精度で微細パターンの転写を可能にする、微細構造体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 マザースタンパの表面にある微細パターンを順次転写させることによる微細構造体の製造方法であって、(1)基板に対して前記マザースタンパを所定の位置に固定する工程と、(2)前記マザースタンパと前記基板との間に樹脂を供給する工程と、(3)真空中にて前記マザースタンパを前記樹脂に押圧する工程と、(4)前記樹脂を硬化させる工程と、(5)前記マザースタンパを前記硬化樹脂から離脱させる工程と、(6)前記マザースタンパと前記基板との相対位置を変更させるように、前記マザースタンパ若しくは前記基板を移動させる工程と、(7)前記工程(6)の後、工程(2)〜工程(6)を所定の回数繰り返す工程と、を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法を開示する。
請求項（抜粋）：
マザースタンパの表面にある微細パターンを順次転写させることによる微細構造体の製造方法であって、(1) 基板に対して前記マザースタンパを所定の位置に固定する工程と、(2) 前記マザースタンパと前記基板との間に樹脂を供給する工程と、(3) 真空中にて前記マザースタンパを前記樹脂に押圧する工程と、(4) 前記樹脂を硬化させる工程と、(5) 前記マザースタンパを前記硬化樹脂から離脱させる工程と、(6) 前記マザースタンパと前記基板との相対位置を変更させるように、前記マザースタンパ若しくは前記基板を移動させる工程と、(7) 前記工程(6)の後、工程(2)〜工程(6)を所定の回数繰り返す工程と、を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法。
IPC (3件)：
B29C 39/02
, B29C 59/02
, B29L 11:00
B29C 39/02
, B29C 59/02 Z
, B29L 11:00
4F204AG05
, 4F204AH73
, 4F204EA03
, 4F204EA04
, 4F204EB02
, 4F204EK01
, 4F204EK09
, 4F204EK10
, 4F209AG05
, 4F209AH73
, 4F209PA02
, 4F209PB02
, 4F209PC05
, 4F209PN03
, 4F209PN06
, 4F209PN07
, 4F209PW41
