特許
J-GLOBAL ID:200903033924162296
感光性樹脂組成物及び硬化物
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
成瀬 勝夫
, 中村 智廣
, 佐野 英一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-088642
公開番号(公開出願番号):特開2004-294882
出願日: 2003年03月27日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】微細な画像形成が可能な現像性を有し、フレキシブルプリント基板に用いられる感光性ソルダーレジストやウェハー上の再配線層に用いられる保護膜に適する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】シロキサンジアミンと芳香族テトラカルボン酸無水物から生じる末端がカルボキシル基又は酸無水物基であるポリイミド又はその前駆体と、1)重合性不飽和二重結合とヒドロキシ基を各2個有する不飽和ジヒドロキシ化合物又は2)この不飽和ジヒドロキシ化合物と重合性不飽和二重結合を有しないジヒドロキシ化合物とを反応させて得られる数平均分子量1000〜20000のポリイミド-エステル樹脂(A)を樹脂主成分とし、これに光重合開始剤を配合してなる感光性樹脂組成物であり、全樹脂固形分における重合性不飽和二重結合当量(全樹脂固形分g/重合性不飽和二重結合mol)の値が650〜800の範囲にある感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
シロキサンジアミンと芳香族テトラカルボン酸無水物から生じる末端がカルボキシル基又は酸無水物基であるポリイミド又はその前駆体と、重合性不飽和二重結合とヒドロキシ基を各2個有する不飽和ジヒドロキシ化合物又はこの不飽和ジヒドロキシ化合物と重合性不飽和二重結合を有しないジヒドロキシ化合物とを反応させて得られる数平均分子量1000〜20000のポリイミド-エステル樹脂(A)を樹脂主成分とし、これに光重合開始剤を配合してなる感光性樹脂組成物において、全樹脂固形分における重合性不飽和二重結合当量(全樹脂固形分g/重合性不飽和二重結合モル)の値が650〜800の範囲にあることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F7/027
, C08F290/14
, C08G73/16
, G03F7/075
, H05K3/28
FI (6件):
G03F7/027 514
, G03F7/027 502
, C08F290/14
, C08G73/16
, G03F7/075 511
, H05K3/28 D
Fターム (76件):
2H025AA10
, 2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC69
, 2H025BC77
, 2H025BC81
, 2H025BC85
, 2H025BC92
, 2H025BJ10
, 2H025CA00
, 2H025FA29
, 2H025FA39
, 4J027AD01
, 4J027AD03
, 4J027AD04
, 4J027AJ01
, 4J027AJ06
, 4J027BA07
, 4J027BA08
, 4J027BA09
, 4J027BA12
, 4J027BA19
, 4J027BA25
, 4J027CB10
, 4J027CC03
, 4J027CD06
, 4J027CD08
, 4J027CD10
, 4J043PA04
, 4J043PA10
, 4J043PB14
, 4J043PB15
, 4J043PC03
, 4J043QB15
, 4J043QB26
, 4J043QB31
, 4J043QB67
, 4J043RA06
, 4J043RA24
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SA85
, 4J043SB01
, 4J043TA22
, 4J043TB01
, 4J043TB02
, 4J043UA122
, 4J043UA132
, 4J043UA262
, 4J043UA761
, 4J043UB122
, 4J043UB152
, 4J043UB351
, 4J043XA11
, 4J043YA06
, 4J043YB06
, 4J043YB19
, 4J043ZA06
, 4J043ZA12
, 4J043ZA33
, 4J043ZA34
, 4J043ZA46
, 4J043ZB22
, 5E314AA27
, 5E314AA36
, 5E314BB06
, 5E314CC01
, 5E314DD07
, 5E314FF06
, 5E314GG21
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