編成用部品の成膜治具

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091272
公開番号（公開出願番号）：特開平7-300672
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】編成用部品への被覆に適した成膜治具を提供することにある。【構成】編成用部品の成膜部を露出させた状態で放射状に収容させるすり鉢形状部とスペーサと回転軸とからなり、前記すり鉢形状部は前記スペーサを介して前記回転軸に挿通され、多段に重ねられていることを特徴とする編成用部品の成膜治具である。【効果】従来の成膜治具と比較して真空槽内に充填できる基材の量を約5倍に向上することが可能となり、作業性が良く不良率が低下した。また、被膜剥離の問題が皆無になったため検査工数が削減でき、歩留まり向上にも寄与することができる。カーボン硬質膜においては編成用部品の間隔が均一であるため安定した膜質を提供できる。

請求項（抜粋）：

棒状の基材からなる編成用部品の一端である成膜部を露出させ残部を収容させる成膜治具であって、該成膜治具は前記編成用部品の成膜部を露出させた状態で放射状に収容させるすり鉢形状部とスペーサと回転軸とからなり、前記すり鉢形状部は前記スペーサを介して前記回転軸に挿通され、多段に重ねられていることを特徴とする編成用部品の成膜治具。

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