特許

J-GLOBAL ID：200903033932832764

真空排気装置

発明者： 氏政 仁志 ,  田代 祥一 ,  山路 哲 ,  中林 哲也
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059652
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257040
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 排気配管や弁箱を使用せず大幅にメンテナンス性の改善を図り、真空排気性能を向上できる真空排気装置を提供する。【解決手段】 本発明の真空排気装置は、真空チャンバ6内の気体を真空排気ポンプ1により排気するものであって、真空排気ポンプ1の吸気口部と圧力制御を行なう可変コンダクタンスバルブ3と真空を遮断するバルブ5とが接続管を介さずに単一筐体7内に収められるよう構成されている。

請求項（抜粋）：

真空チャンバ内の気体を排気ポンプにより排気する真空排気装置において、前記排気ポンプの吸気口部と、前記真空チャンバ内の圧力制御を行なうコンダクタンスバルブと、前記排気ポンプによる前記真空チャンバ内の排気を遮断するバルブとが接続管を介さずに、かつ単一筐体内に収まるように構成されていることを特徴とする、真空排気装置。

FI (3件)：

F04B 37/16 E ,  F04B 37/16 A ,  F04B 37/16 B

Fターム (8件)：

3H076AA21 ,  3H076AA26 ,  3H076BB38 ,  3H076BB45 ,  3H076CC07 ,  3H076CC41 ,  3H076CC55 ,  3H076CC95