特許
J-GLOBAL ID：200903033939169998
電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050634
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084492
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 電子線が散乱等により、目標の微小領域以外の試料の表面を照射することがない電子顕微鏡を得ることを目的とする。【構成】 電子線源と、集束レンズと、対物レンズと、該対物レンズに近接した試料とを有し、X線分析装置が取付可能な電子顕微鏡において、前記集束レンズと前記試料との間の電子線光軸上に、試料側を大径とし集束レンズ側を小径とした孔を設け、小径部によりエッジを形成した絞りを、複数個配置するように構成する。
請求項（抜粋）：
電子線源と、集束レンズと、対物レンズと、該対物レンズに近接した試料とを有し、X線分析装置が取付可能な電子顕微鏡において、前記集束レンズと前記試料との間の電子線光軸上に、試料側を大径とし集束レンズ側を小径とした孔を設け、小径部によりエッジを形成した絞りを、複数個配置したことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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