特許
J-GLOBAL ID：200903033940430772
圧電振動子及び圧電デバイスの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-331127
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133879
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】 音叉型水晶振動片の微小化に対応しつつ高い周波数精度を実現し、かつパッケージ封止後の周波数調整で除去される重り材料の再付着による電極ショート等の虞を最大限排除する。【解決手段】 水晶ウエハ1に音叉型水晶振動片2の外形を加工し、その表面に電極5と振動腕2aに周波数調整用の重り材料を付着させて重り部6とを形成し、レーザ光を重り部の先端側に照射して重り材料をトリミングして周波数を粗調整する。水晶ウエハから分離した音叉型水晶振動片をパッケージ10内に気密に封止し、パッケージの透明な蓋12を通して外側からレーザ光16を、周波数の粗調整の場合よりも重り部の基端側に照射し、振動腕の重り材料をトリミングして周波数を微調整する。レーザ光は、隣接する照射スポット7、17が互いに部分的に重なるように所定ピッチでシフトさせながら照射し、かつ周波数の微調整ではレーザ光のスポット径を周波数の粗調整の場合より小さくする。
請求項（抜粋）：
圧電材料のウエハに音叉型圧電振動片の外形を加工し、その表面に電極膜を形成しかつ前記音叉型圧電振動片の振動腕に周波数調整用の重り材料を付着させる過程と、エネルギビームを照射して前記振動腕の前記重り材料をトリミングすることにより、前記音叉型圧電振動片の周波数を粗調整する過程と、前記ウエハから前記音叉型圧電振動片を分離し、かつパッケージ内に気密に封止する過程と、前記パッケージの透明部分を通してその外側から前記パッケージ内にエネルギビームを照射し、前記振動腕の前記重り材料をトリミングすることにより、前記音叉型圧電振動片の周波数を微調整する過程とからなり、前記周波数の粗調整過程及び微調整過程において、前記エネルギビームが、その隣接する照射スポットが互いに部分的に重なるように所定ピッチでシフトさせながら照射され、かつ、前記周波数の微調整過程における前記エネルギビームのスポット径が、前記周波数の粗調整過程における前記エネルギビームのスポット径よりも小さいことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
IPC (3件)：
H03H 3/04
, H03H 3/02
, H03H 9/02
H03H 3/04 B
, H03H 3/02 C
, H03H 9/02 M
5J108AA02
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108GG13
, 5J108GG16
, 5J108GG17
, 5J108HH04
, 5J108KK06
, 5J108NA03
, 5J108NB05
