特許

J-GLOBAL ID：200903033943942847

半導体素子チェック用プローブカード

発明者： 楠本 栄典 ,  藤井 秀夫 ,  久本 淳 ,  池田 貢基 ,  橋本 郁郎
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-260022
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166407
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【課題】 プローブピンへのSnの溶着を防止して、疑似不良が発生することのないプローブカードを提供する。【解決手段】 複数のプローブピンを有して、半導体素子の電気的特性を検査または測定する際に用いるプローブカードであって、上記プローブピンの先端面と側面が交わる稜部が曲面で形成されていることを要旨とする。また、上記プローブピンの先端形状が、略球面状の曲面であり、その曲率半径rが下記(1)式を満足するプローブカードも推奨される。0.5R≦r≦5R...(1) 但し、Rはプローブピンの先端径さらに、前記プローブピンの先端部は、少なくともプローブピンと電極パッドが接触する部分が曲面に形成されていればよく、該曲面における最大粗さを2μm以下に制御することが推奨され、電解法を用いれば上記先端部の曲面加工が容易である。

請求項（抜粋）：

複数のプローブピンを有して、半導体素子の電気的特性を検査または測定する際に用いるプローブカードであって、上記プローブピンの先端面と側面が交わる稜部が曲面で形成されていることを特徴とする半導体素子チェック用プローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66