特許

J-GLOBAL ID：200903033960508085

角速度センサ

発明者： 伏見 正弘 ,  八木 隆行 ,  赤池 正剛 ,  高木 博嗣 ,  井阪 和夫 ,  平井 裕
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-142764
公開番号（公開出願番号）：特開平5-333038
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 小型かつ低コストの振動ジャイロ、即ち角速度センサ、特に、同時に2軸以上の多軸方向の角速度の検知可能な角速度センサを提供する。【構成】 重り部103及び重り部103を保持する梁部104が形成された平板部102を上下方向に振動させる振動部、及び重り部103及び梁部104がコリオリ力を受けて梁部104が面内方向にたわみ変形するとき、このたわみ変形の中立面の両側の平板上面に設けられた一対の歪量検出センサ106の出力差により角速度を求める検出部117により構成される。

請求項（抜粋）：

平板の一部をエッチング除去してなる少なくとも二つ以上の重り部及びこの重り部と平板部を接続する検出用梁部とこの重り部及び検出用梁部が形成された平板部を面内方向と略直交して振動させる振動機構及び振動源により構成され、該梁部の長手方向を軸とする角速度が該検出用梁部に加わることにより該検出用梁部がコリオリ力を受けて面内方向に歪む際の中立面の両側の該平板部上面の該検出用梁部にそれぞれ少なくとも一つ以上の歪量を検出する手段を有し、この両側に設けられた歪量検出手段の出力値の差より角速度信号を生成することを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 9/04 ,  G01C 19/56

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭57-160067
  
• 特開昭61-139719
  
• 特開昭62-093668
  
• 特開昭61-114123
  
• 特開平2-198315