放電管

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-299370
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153370
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【構成】内部にプラズマを発生させる、プラズマ発生装置やランプなどの放電管1の管基体2の内面のプラズマに接する表面に気相法などにより少なくとも窒素を含むアルミニウム化合物膜3を形成する。【効果】プラズマによる管基体の消耗を著しく低減することができ、放電管の寿命を伸ばすことができる。

請求項（抜粋）：

内部にプラズマを発生させる放電管の内面の少なくともプラズマに接する表面に少なくとも窒素を含むアルミニウム化合物からなる層を形成したことを特徴とする放電管。

IPC (4件)：

H01J 5/02 , C23C 16/50 , H01J 37/32 , H01J 61/35

引用特許：

審査官引用 (3件)

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