特許

J-GLOBAL ID：200903033965194275

液体の混合装置、混合方法及び基板の処理装置

発明者： 黒澤 雅彦
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (7件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  河井 将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-283905
公開番号（公開出願番号）：特開2004-113987
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】この発明は複数の液体を均一に混合することができる混合装置を提供することにある。【解決手段】複数の液体が流入する可撓性の混合チューブ31と、この混合チューブに外側から装着され混合チューブを径方向に弾性変形させて内部を流れる複数の液体に乱流を発生させ、これら複数の液体を混合する混合治具37とを具備する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

複数の液体が流入する可撓性の混合チューブと、 この混合チューブに外側から装着され混合チューブを径方向に弾性変形させて内部を流れる液体に乱流を発生させ、この乱流によって複数の液体を混合する混合治具と、 を具備したことを特徴とする液体の混合装置。

IPC (5件)：

B01F5/00 ,  B01F3/08 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306

FI (7件)：

B01F5/00 D ,  B01F3/08 Z ,  H01L21/304 643C ,  H01L21/304 648K ,  H01L21/30 564C ,  H01L21/30 569F ,  H01L21/306 J

Fターム (7件)：

4G035AB37 ,  4G035AC12 ,  4G035AE17 ,  5F043EE07 ,  5F043EE31 ,  5F046JA01 ,  5F046LA03