特許
J-GLOBAL ID：200903033969402492
現像液、画像形成方法、着色画像形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ付アレイ基板の製造方法、樹脂層付アレイ基板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-152878
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351091
出願日： 2001年05月22日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：
【要約】【課題】 安定した現像活性を有し現像促進性に優れ、特に感光性樹脂層中への浸透性が高く該樹脂に対する現像性能に優れると共に、TFT等の半導体素子の半導体特性に及ぼす悪影響がなく、しかも発泡性の低い現像液を提供する。【解決手段】 (A)リン酸系アルカリ剤、(B)ケイ酸系アルカリ剤、(C)炭酸系アルカリ剤、(D)硼酸系アルカリ剤、(E)アミン系アルカリ剤、及び(F)アンモニウム系アルカリ剤より選択される少なくとも一種のアルカリ剤と、ナフタレン環を有する界面活性剤とを含み、かつアルカリ金属イオン濃度が300ppm以下であることを特徴とする現像液である。
請求項（抜粋）：
(A)リン酸系アルカリ剤、(B)ケイ酸系アルカリ剤、(C)炭酸系アルカリ剤、(D)硼酸系アルカリ剤、(E)アミン系アルカリ剤、及び(F)アンモニウム系アルカリ剤より選択される少なくとも一種のアルカリ剤と、ナフタレン環を有する界面活性剤とを含み、かつアルカリ金属イオン濃度が300ppm以下であることを特徴とする現像液。
IPC (3件)：
G03F 7/32
, G02B 5/20 101
, H01L 21/027
G03F 7/32
, G02B 5/20 101
, H01L 21/30 569 E
2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BA47
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB41
, 2H048BB42
, 2H096AA26
, 2H096AA28
, 2H096AA30
, 2H096BA05
, 2H096EA02
, 2H096GA09
, 2H096GA11
, 5F046LA12
