特許

J-GLOBAL ID：200903033974018595

集積回路絶縁体及び方法

発明者： モナ エイサ ,  ジャスティン エフ.ゲイナー
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-345669
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144670
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 パリレン単量体と、シロキサンを含む珪素・炭素含有単量体との共重合体、共重合するための蒸着法、その共重合体の集積回路のための絶縁体としての適用法を与える。【解決手段】 金属線+酸化物(450、490)の間の、パリレンと環式シロキサンとの共重合体(432、482)を有する金属間レベル誘電体、及びそれを共重合するための蒸着法。共重合体のフッ素化は誘電率を低下し、作動温度を上昇する。

請求項（抜粋）：

(a)パリレン又はフッ素処理済みパリレンと、少なくとも一つの不飽和炭素・炭素結合を有する珪素・炭素化合物又はフッ素処理済み珪素・炭素化合物から成る群から選択されたコモノマーの共重合体から成る絶縁材料。

IPC (5件)：

H01L 21/312 ,  C08F230/08 ,  C08F236/22 ,  H01L 21/768 ,  C08G 61/02

FI (5件)：

H01L 21/312 A ,  C08F230/08 ,  C08F236/22 ,  C08G 61/02 ,  H01L 21/90 S