特許

J-GLOBAL ID：200903033980678769

感光性樹脂組成物及びそれを用いるパターン化されたポリイミド皮膜の形成方法

発明者： 加藤 英人
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031259
公開番号（公開出願番号）：特開平8-272098
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【課題】 水性の液により短時間で現像可能であるとともに、十分な感度を有し、容易にパターン化されたポリイミド皮膜を形成することができる感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いるパターン化された耐熱性ポリイミド皮膜の形成方法を提供する。【解決手段】 (A) 下記一般式:【化1】〔Xは芳香環を有する4価の有機基であり、Yは、芳香環を有する2価の有機基又はシロキサン結合を有する2価の有機基であり、Zは水素原子、又はアクリロキシ基若しくはメタクリロキシ基を含有する1価の有機基である〕で表される構成単位からなり、平均分子量1万以上のポリイミド前駆体であって、全Zに占める前記1価の有機基の割合が、少なくとも30モル%であり、かつ全Wに占める(メタ)アクリロキシ基含有アミノ基の割合が10〜50モル%であるもの、並びに(B) 増感剤及び/又は光重合開始剤、を含有してなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A) 下記一般式(1) :【化1】〔式中、Xは芳香環を有する4価の有機基であり、Yは、芳香環を有する2価の有機基又はシロキサン結合を有する2価の有機基であり、二つのZは同一でも異なってもよく、水素原子又は下記一般式(2) :【化2】(ここで、Rは水素原子又はメチル基である。)で表されるアクリロキシ基又はメタクリロキシ基を含有する1価の有機基であり、二つのWは同一でも異なってもよく、水酸基又は一般式(3) : -NH-CH2 CH2 OCO-C(R’)=CH2 (3) (ここで、R’は水素原子又はメチル基である。)で表わされるアクリロキシ基又はメタクリロキシ基を含有するアミノ基である。〕で表される構成単位からなり、平均分子量1万以上のポリイミド前駆体であって、前記一般式(2) で表される1価の有機基の割合が、該ポリイミド前駆体に含まれる全てのZの中で少なくとも30モル%であり、かつ前記一般式(3) で表わされるアミノ基の割合が該ポリイミド前駆体に含まれる全てのWの中で10〜50モル%であるもの、及び(B) 増感剤、光重合開始剤、又はそれらの組み合わせを含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB ,  G02F 1/1337 525 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28

FI (5件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB ,  G02F 1/1337 525 ,  H05K 3/28 D ,  H01L 21/30 502 R