基板搬送方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025320
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217297
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】カセット内の基板を取り出し、このカセットあるいは他のカセットにソーティングするときに、基板をカセットに衝突させず、また破損させない。【解決手段】上下動および旋回自在な主軸50bの上端に回動自在に取り付けた第1アーム53と、この第1アーム53に直結し且つ第1アーム53に対し屈曲自在に取り付けた第2アーム52と、この第2アーム52に取り付けたハンド51とを備えたロボット本体50のハンド51でカセット31から取り出した基板41に対し、位置ずれの全くない基板との傾き角θa および横方向の位置ずれ量を求める。次いで、傾き角θaと横方向の位置ずれ量をなくすようにロボット本体50を制御する。その後、カセット31の開口の中心軸線Mに対して、ロボット本体50のハンド51で保持される基板41の挿入端側の中心が沿うように、ロボット本体50を制御しながらカセット31内に基板41を挿入する。

請求項（抜粋）：

上下動および旋回自在な主軸の上端に回動自在に取り付けられた第1アームと、この第1アームに直結し且つ第1アームに対し屈曲自在に取り付けられた第2アームと、この第2アームに対し取り付けられたハンドとを備えたロボット本体を有し、前記主軸、第1アームおよび第2アームの駆動により前記ハンドを介して未検査用カセットから取り出された基板を、ソーティング用にカセットに収容する基板搬送方法において、前記未検査用カセットから取り出した基板に対し位置ずれの全くない基板との傾き角θaおよび横方向の位置ずれ量を求め、次いで、前記傾き角θaおよび横方向の位置ずれ量をなくすように、前記ロボット本体を制御し、その後、カセットの開口の中心軸線Mに対して、前記ロボット本体のハンドで保持される基板の挿入端側の中心が沿うように、前記ロボット本体を制御しながら、前記カセット内に基板を挿入することを特徴とする基板搬送方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B25J 9/10

FI (3件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 G , B25J 9/10 A

Fターム (32件)：

3F059AA01 , 3F059AA11 , 3F059AA14 , 3F059BA02 , 3F059BA08 , 3F059CA06 , 3F059DA02 , 3F059DA09 , 3F059DC07 , 3F059DD01 , 3F059DD11 , 3F059FA03 , 3F059FB01 , 3F059FB15 , 3F059FC02 , 3F059FC13 , 3F059FC14 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031JA05 , 5F031JA25 , 5F031LA07 , 5F031MA33 , 5F031PA20

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